為盡量(liàng)減小真空鍍膜(mó)機真空室形變帶來(lái)的影響,17.c-起草將導軌、絲杆等傳動件固定於一個剛性的中間層(céng)上(shàng),其與真空室底壁之間采用(yòng)點、線、麵活性支撐(chēng),以吸收和隔離形變,並設置形變補償調節機構,在係統抽真空前,參照有限元計(jì)算提供的理論數據預設適當(dāng)的補償量,以使其在真空狀態下到平衡。而這樣的真空設計也使得(dé)現在的真(zhēn)空鍍膜機就(jiù)能夠讓鍍膜在真空環境下正常進行,防止外界因素的影響。
而為了驗證有限元計算的結果,對
真空鍍膜(mó)機(jī)的真空室的形變和(hé)補(bǔ)償進行了測試。先將四隻千分表定位在工作台安裝基點的真空壁外側,當真空室由大氣抽到真空時,記錄各(gè)千分表的變化量,經歸一化處理後為用激光自準直儀調整形變補償。由水平調整(zhěng)的自(zì)準直儀發出一束激光穿過真空室的玻璃窗照射固定於工作台上(shàng)的反(fǎn)射鏡,在大氣環境下調整形變補償調節機構,使反射光束進入自準(zhǔn)直儀接收視場,記錄兩維角度偏差。這些數據(jù)之後需要對(duì)其進行分析處理,得到測試結果。