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真空(kōng)鍍膜掉膜應如何解決

       空(kōng)鍍膜會遇到掉膜的情況(kuàng),產生這樣情(qíng)況的原因在於哪裏,如何(hé)去解(jiě)決這些問題呢?
       1、表麵清潔度
       產品表麵潔淨度不夠,可以考慮離子源清洗時氬氣放大、時間長點。
       2、清洗過程中的問題
       鍍前清洗不到位,或更換了清洗液。
       3、工藝的問題
       工(gōng)藝參數(shù)是否有變動,在鍍膜時間和電流上做適當調整。
       4、靶材的問題
       鈦靶是否中毒,檢查和更換。
       5、真空腔(qiāng)是否漏氣
       進行次撿漏。
       6、產品(pǐn)表(biǎo)麵氧(yǎng)化
       氧化的原因很多,可以自行判斷處理。
2021/08/19 16:19:01 2413 次

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