真空鍍（dù）膜機中的真空管道、靜（jìng）態（tài）密封（fēng）零部（bù）件（jiàn）（法蘭、密封圈等）的（de）結構形式，應符（fú）合相（xiàng）關規定。
　　在低真空（kōng）和高真空管道上及真空鍍膜室上應安裝真空測量規管，分別測量各部位的真空度。當發現電場對測量造成幹擾時，應在測量口處安裝電場屏蔽裝置。
　　如果設備（bèi）使用的（de）主泵為擴散泵時，應在泵的進氣口一側（cè）裝設有油蒸捕集阱。
　　設備的鍍膜室（shì）應設有觀察窗，應設有擋板裝置。觀察窗應（yīng）能觀察到沉積源的情況以及其他關鍵部位。